ETRDSVルートスクリュー真空システム

ポンプ速度: 250-21000m³/h
最终的な圧力:≤1 * 10-3mbar
ノイズ:<70dB

パラメータ		ユニット	ETRDSV302	ETRDSV602	ETRDSV902	ETRDSV1302
ポンプ速度		mさん³パラメータ0	250/300	8300/10000	12500/15000	17500/21000
パラメータ5		パラメータ6	パラメータ7^{パラメータ8}
パラメータ9	ユニット0	ユニット1	ユニット2
	ユニット3	ユニット4	ユニット5
	ユニット6	ユニット7	ユニット8	ユニット9	ETRDSV3020	ETRDSV3021
	ユニット6	ETRDSV3022	ETRDSV3023	ETRDSV3024	ETRDSV3025	ETRDSV3026
ETRDSV3027	ETRDSV3028		ETRDSV3029			ISO160
ETRDSV3027	排気口		NW40
冷却水	渋滞	リットル/分	3-15
	温度	°C	15-30
	ETRDSV9020	ETRDSV9021^ETRDSV9022	ETRDSV9023
	ETRDSV9024		ETRDSV9025
ETRDSV9026	ETRDSV9027	ETRDSV9028	ETRDSV9029
ETRDSV9026	ETRDSV13020		ETRDSV13021
ETRDSV13022		ETRDSV13023	ETRDSV13024
ETRDSV13025		ETRDSV13026	ETRDSV13027
ETRDSV13028		ETRDSV13029	ポンプ速度0	ポンプ速度1	ポンプ速度2	ポンプ速度3