ETR-F-701 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-701
Pumping speed	L\ /S	550
ultimative pressure	Pa	<5X10-6
Compression ratio	\ /	> 1X104
Inlet flansch	\ /	DN160\ /ISO-K oder CF
Outlet flansch	\ /	DN25\ /ISO-KF,KF40
Purge port	\ /	DN16\ /ISO-KF
Gewicht	kg	20
Vibration	um	≤0,05
Geräusch	dB	≤50
Lager	\ /	Fettgeschmiertes Keramikkugellager
Installationswinkel	\ /	Beliebiger Winkel
Magnetfeld in Arbeitsumgebung	mT	≤3
Vorpumpenempfehlung	L\ /S	4-10