ETR-F-250 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-250
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	2050
Enddruck	pa	<5X10-6
Kompressionsverhältnis	\ /	> 1X1010
Einlassflansch	\ /	DN250\ /ISO-K oder CF
Auslassflansch	\ /	DN40\ /ISO-KF,KF50
Spülport	\ /	DN16\ /ISO-KF
Gewicht	kg	40
Vibration	um	≤0,05
Geräusch	dB	≤50
Lager	\ /	Fettgeschmiertes Keramikkugellager
Installationswinkel	\ /	Beliebiger Winkel
Magnetfeld in Arbeitsumgebung	mT	≤3
Vorpumpenempfehlung	L\ /S	16-24