ETR-F-200 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-200
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	1350
Enddruck	pa	<5X10-6
Kompressionsverhältnis	\ /	> 1X1011
Einlassflansch	\ /	DN200\ /ISO-K oder CF
Auslassflansch	\ /	DN40\ /ISO-KF,KF50
Spülport	\ /	DN16\ /ISO-KF
Gewicht	kg	30
Vibration	um	≤0,05
Geräusch	dB	≤50
Lager	\ /	Fettgeschmiertes Keramikkugellager
Installationswinkel	\ /	Beliebiger Winkel
Magnetfeld in Arbeitsumgebung	mT	≤3
Vorpumpenempfehlung	L\ /S	8-16