semi-conducteur

2026-04-13 18:16:25

Les produits électroniques appartiennent à la vie quotidienne moderne, et sans eux, l'imagination de la vie n'est plus possible. Les ordinateurs, les smartphones, les voitures, les appareils de contrôle à domicile, les équipements médicaux et d'autres circuits hautement intégrés sont tous basés sur la technologie des semi-conducteurs.

Traitement des semi-conducteurs

Le marché est dirigé par les outils de communication modernes tels que les smartphones, les tablettes, les téléviseurs, les écrans à écran plat ou l'Internet des objets. Qu'il s'agisse de machines d'implantation d'ions, d'équipements de gravure ou de PECVD-Yitaervacuum vous trouvera des solutions de vide de haute qualité et hautement fiables pour de meilleures performances. Nous continuons à innover dans des solutions technologiques qui amélioreront le temps de fonctionnement des processus, la production, le débit et les niveaux de certification de sécurité. Dans le même temps, nous nous efforçons de coordonner et d'équilibrer les exigences souvent contradictoires relatives à la réduction des coûts de propriété en réduisant les émissions préjudiciables à l'environnement, en prolongeant la durée de vie des produits et en réduisant les coûts de service en cours.

impression Offset

La lithographie (c'est-à-dire la formation de motifs sur les plaquettes) est une étape essentielle dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Bien que la lithographie traditionnelle et même par immersion ne nécessite généralement pas un environnement sous vide, la lithographie ultraviolet lointain (EUV) et la lithographie par faisceau d'électrons nécessitent une pompe à vide. YitaerVacuum vous permet de gérer efficacement ces deux applications.

Précipitation de vapeur chimique

Les systèmes de dépôt chimique par vapeur (CVD) ont de multiples configurations pour le dépôt de différents types de films minces. Le procédé fonctionne également à différentes pressions et débits, dont beaucoup utilisent des procédés de nettoyage à sec contenant du fluor. Tous ces facteurs variables signifient que vous devez consulter l'un de nos ingénieurs d'application pour choisir la pompe et le système de réduction de gaz appropriés afin de prolonger efficacement l'intervalle de maintenance de nos produits et prolonger le temps de fonctionnement normal de votre processus.

gravure

En raison des tailles de caractéristiques extrêmement fines de nombreux semi-conducteurs, le processus de gravure est devenu de plus en plus complexe. En outre, l'amplification des dispositifs MEMS et des structures 3D utilise de plus en plus des procédés de gravure au silicium pour des structures avec des rapports d'aspect élevés. Traditionnellement, les procédés de gravure peuvent être regroupés en silicium, oxyde et métal catégories. En raison de l'utilisation de masques plus durs et de matériaux à haute k dans les appareils d'aujourd'hui, les frontières entre ces catégories sont devenues très floues. Certains matériaux utilisés dans les équipements d'aujourd'hui sont capables de résister à l'évaporation avec ténacité pendant le processus de gravure, conduisant à des dépôts dans les composants sous vide. Le processus de fabrication actuel est en effet devenu plus difficile qu'il y a quelques années. Nous suivons de près les changements de l'industrie et des processus et les suivons grâce à l'innovation de produits pour obtenir de meilleures performances.

Les produits électroniques appartiennent à la vie quotidienne moderne, et sans eux, l'imagination de la vie n'est plus possible. Les ordinateurs, les smartphones, les voitures, les appareils de contrôle à domicile, les équipements médicaux et d'autres circuits hautement intégrés sont tous basés sur la technologie des semi-conducteurs.0

Les outils d'implantation d'ions jouent toujours un rôle important dans le processus de front-end. Les défis de vide associés à l'implantation d'ions ne sont pas devenus plus faciles au fil du temps, et nous reconnaissons les défis auxquels nous sommes confrontés lors du fonctionnement des pompes à vide dans des environnements électroniques bruyants. Nous savons que les pompes utilisées sur les outils d'injection nécessiteront une immunité plus élevée et des caractéristiques de conception spéciales pour garantir que la plage de haute tension de l'outil d'injection n'interfère pas avec la fiabilité de la pompe.