Semiconductor

2026-04-13 18:16:25

Los productos electrónicos pertenecen a la vida cotidiana moderna, y sin ellos, imaginar la vida ya no es posible. Las computadoras, teléfonos inteligentes, automóviles, dispositivos de control doméstico, equipos médicos y otros circuitos altamente integrados se basan en la tecnología de semiconductores.

Procesamiento de semiconductores

El mercado está impulsado por herramientas de comunicación modernas como teléfonos inteligentes, tabletas, televisores, pantallas de pantalla plana o el Internet de las cosas. Ya sea que se trate de máquinas de implantación de iones, equipos de grabado o PECVD, YitaerVacuum le encontrará soluciones de vacío de alta calidad y altamente confiables para un mejor rendimiento. Seguimos innovando soluciones tecnológicas que mejorarán el tiempo de actividad del proceso, la producción, el rendimiento y los niveles de certificación de seguridad. Al mismo tiempo, nos esforzamos por coordinar y equilibrar los requisitos a menudo conflictivos de menor costo de propiedad al reducir las emisiones que son perjudiciales para el medio ambiente, extender la vida útil del producto y reducir los costos de servicio en curso.

impresión Offset

La litografía (es decir, la formación de patrones en obleas) es un paso crítico en los procesos de fabricación de semiconductores. Aunque la litografía tradicional e incluso por inmersión generalmente no requiere un entorno de vacío, la litografía ultravioleta lejana (EUV) y la litografía por haz de electrones requieren una bomba de vacío. YitaerVacuum le permite manejar estas dos aplicaciones de manera efectiva.

Precipitación de vapor químico

Los sistemas de deposición de vapor químico (CVD) tienen múltiples configuraciones para depositar diversos tipos de películas delgadas. El proceso también funciona a diferentes presiones y caudales, muchos de los cuales utilizan procesos de limpieza en seco que contienen flúor. Todos estos factores variables significan que usted necesita consultar a uno de nuestros ingenieros de aplicaciones para elegir la bomba y el sistema de reducción de gas adecuados con el fin de extender efectivamente el intervalo de mantenimiento de nuestros productos y prolongar el tiempo de operación normal de su proceso.

grabado

Debido a los tamaños de características extremadamente finos de muchos semiconductores, el proceso de grabado se ha vuelto cada vez más complejo. Además, la amplificación de dispositivos MEMS y estructuras 3D está usando cada vez más procesos de grabado de silicio para estructuras con altas relaciones de aspecto. Tradicionalmente, los procesos de grabado se pueden agrupar en categorías de silicio, óxido y metal. Debido al uso de máscaras más duras y materiales de alta k en los dispositivos actuales, los límites entre estas categorías se han vuelto muy borrosos. Algunos materiales utilizados en los equipos actuales son capaces de resistir la evaporación tenazmente durante el proceso de grabado, lo que conduce a la deposición dentro de los componentes al vacío. El proceso de fabricación actual se ha vuelto más desafiante que hace unos años. Monitorizamos de cerca los cambios de la industria y los procesos y nos mantendremos al ritmo con ellos a través de la innovación de productos para lograr un mejor rendimiento.

Los productos electrónicos pertenecen a la vida cotidiana moderna, y sin ellos, imaginar la vida ya no es posible. Las computadoras, teléfonos inteligentes, automóviles, dispositivos de control doméstico, equipos médicos y otros circuitos altamente integrados se basan en la tecnología de semiconductores.0

Las herramientas de implantación de iones todavía desempeñan un papel importante en el proceso de front-end. Los desafíos de vacío asociados con la implantación de iones no se han vuelto más fáciles con el tiempo, y reconocemos los desafíos que se enfrentan al operar bombas de vacío en entornos electrónicos ruidosos. Sabemos que las bombas utilizadas en herramientas de inyección requerirán una mayor inmunidad y características especiales de diseño para garantizar que el rango de alto voltaje de la herramienta de inyección no interfiera con la fiabilidad de la bomba.